便携式空气颗粒计数器

美国METONE 3411 便携式空气颗粒计数器

METONE 341适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有ISO 21501数据准确性和再现性，是业内洁净的 0.1um 微粒。

可让您的洁净室保持洁净
0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染
热插拔电池确保仪器长时间连续运行
由于仪器使用的是热插拔电池，故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机
测试向导（Test Wizard）能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误

顺序采样系统
可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。
灵活的通讯方式——设置简单，数据传输方便
供选择的无线，以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统，或者客户已有监控软件，以便减少文书工作

直观的用户界面
简便的区域，位置和运行参数的配置和复制，节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中，从而消除参数设置错误，并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划！

符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
于满足特殊颗粒计数要求，仪器与仪器之间的准确度和再现性*符合 ISO21501-4标准要求。

美国METONE 3411 便携式空气颗粒计数器

通道个数          6
粒径                0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
光源                氦氖激光器
重量                不含电池：15.9 公斤，电池：0.66 公斤
尺寸                33 W 55.9 D22.9 H cm (宽 x 长 x 高)
机箱材质          便于清洗的钝化不锈钢
流速                1.0 CFM (28.3 LPM)
零计数             ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间
符合损失         在 50,000 /ft3 时，为5%，符合ISO 21501-4标准
泵的类型         可供连续使用的多瓣闭路循环控制泵
计数效率         在0.1 µm时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B 9921，粒径大于0.15µm时为
运行温度         10 至 40°C; 相对湿度为10 至 90%，无冷凝
显示 ¼           VGA 彩色 TFT 触摸屏
打印机            高速热敏打印机
语言               英语，法语，德语，意大利语，西班牙语，韩语*，日语*，中文
可以显示的数值     9,999,999 displayed
延迟时间              15秒钟至23小时59分59秒
采样/停留时间      1秒钟至23小时59分59秒
计数                    1~ 9,999,999 个计数值
位置                    编号：0 至 999; 名称:文字描述，显示在打印输出资料上
数据存储             5,000 个样品， 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow)
输出                   USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432 型顺序采样系统 (扫描探头)
锂电池                可充电、可热插拔 Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
输入                   空气速度探头，相对湿度/温度探头
自动                   CDA 清洗 连接到CDA之后，清洗电磁阀会被激活
电源                   24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器
电池类型             智能锂电池，可充电，可热插拔
电池使用时间      短 3 小时
电池的充电时间   电池的充电时间
包含电池数量      2组