显微激光拉曼光谱仪
◆RealStandard激光拉曼的新时代
拉曼分光法和红外分光法都是测定振动光谱法,但是和红外分光法相比容易取样,具有可以测量到红外分光法无法测量的微小部位等特长的同时,需要操作者具有一定的测量技能,包括决定的测量条件和能一定程度上调整光学系等的技能。NRS-5000/7000系列具有显微激光拉曼光谱仪所要求的功能,可以自动控制系统和光学系,可以获得稳定的高精度的数据。搭载波数和拉曼强度的自动补正和测定建议辅助功能,具有高速映射功能。
◆NRS-5100/5200
NRS-5000系列的分光器,采用可对应多种应用软件的焦点距离为300mm高性能分光器,最多可以搭载3枚光栅。搭载低波数测定组件的NRS-5200可以测量10cm−1的低波数领域的测量。
◆NRS-7100/7200
NRS-7000系列的分光器具有500mm的焦点距离、可实现高分辨率的测量。最多可以搭载4枚光栅。NRS-7200搭载低波数测量组件可实现低杂散光测量,可测量到5cm−1低波数领域。
◆具有良好硬件的拉曼测量
▼高性能的分光器
采用像差補正型Czerny-Tuner分光系统、可提高检测器的成像功能,测到高质量的光谱。波数移动再现性采取高精度直接驱动旋转编码器可实现0.1cm−1以下的高再现性。另外利用光栅自动切换功能可同时搭载多个光栅。
▼高强度、高刚性系统的高稳定性
光学系配有不受环境温度变化和抗震动的结实构造的机箱。整个系统设置在铝蜂窝材料台上具有绝好的再现性。
▼DSF(DualSpatialFiltration)优异共焦点性
由于共焦点光学系空间分解光圈的重叠,可以高精度的除去杂散光,从而可以只检测焦点位置的拉曼散射光。由于这个装置深度方向的分辨率为1μm(在Si电路板上)。另外,为了提高空间分辨率,在对荧光物质进行异物分析时,可以除去基础荧光的影响只导入样品的拉曼散射光。
▼低波数測定
低杂散光分光器和高性能拒波滤光片组合标准可以测量50cm−1~。特别是测定及低波数的情况
,NRS-5200/7200搭载低波数测量组件是最合适的选择。低波数测量主要适用于无机物或结晶多形体。
L-*的低波数光谱
◆自动化的的测定环境
▼光学調整的自动化
自动校准是指用光传感器来监控激光,使用激光校准镜自动调整到最合适的位置。自动拉曼光路调整功能是指调整光轴将集光后的拉曼散射光的焦点在入射狭缝上。
▼SRI(SpatialResolutionImage)/SGI(SlitGuideImage)
SRI是指在显微画像上可实现激光和空间分解光圈画像的重叠表示。SGI是指从分光器的入射狭缝侧照射标记用的LD激光,狭缝的画像投影到显微镜台上。
▼搭载多个激光,可实现样品的测量
从UV到近红外激光主机内部2台、外部最多可以搭载6台、用软件切换。NRS-5000/7000系列的标准激光为532nm的绿色激光。但是,在这个波长激发的话,有出现荧光不能准确测量的样品。这种情况使用785nm等的长波长激光可以抑制荧光的产生。
抑制了荧光的颜料拉曼光谱
▼双重检测器切换构造和InGaAs检测器
NRS-5000/7000系列作为选项可以搭载2台检测器。CCD检测器和InGaAs检测器、可以切换使用。对于即使在785nm也出现荧光难测量的活体样品,农产品等可在1064nm测到良好的拉曼波峰。
木材(木质素)的拉曼光谱
▼多彩的显微画像观察
显微画像是由内置在主机内部的高解像度的CMOS照相机表示在PC的荧屏上、通过数码扩大功能可以实现高倍率的观测。用肉眼直接观测或者用随机像机以外的像机进行观测时,可以安装双眼镜筒或三眼镜筒。
▼观察功能
RS-5000/7000系列可以追加显微镜或微分干涉显微镜的功能。微分干涉观察在观察透明样品等时,样品的对比度被着重,容易观察。偏光观察是指对于通常的可见光比较难观察的单晶体,矿物质,高分子胶卷中的异物等,通过偏光观察,可以比较容易。
观察型光纤探针
▼宏观测量和光纤探针测量
通过选项可以进行宏观测量和光纤探针测量。宏观测量是指通过用直径50?100μm的激光光束照射样品,可以得到样品平均信息。光纤探针测量适合于insitu测定或反映监测。
◆新時代的高速成像SPRIntS成像系统
半导体材料的高分辨率成像1
(100倍物镜、100nm间隔)
日本分光的SPRIntS成像系统、具有以下功能,通过扫描镜激光高速扫描样品进行高速成像测定的VertiScan、高速读取CCD检测器数据的高速读取功能、VertiScan和Z自动台组合3D成像、AF自动聚焦和多功能聚焦功能。
半导体材料的高分辨率成像2
(100倍物镜、40nm间隔)VertiScan激光对样品垂直照射不破坏共焦点性,获得无歪斜高品质的图像数据。因为激光在最小25nm间隔移动(使用100倍物镜时)对微小结构的解析发挥威力。从「半导体材料(硅胶)的高分辨率成像2」的数据可以确认到大约250nm的空间分辨率。
▼3D成像
3D成像限度发挥共焦点的优点,把样品的深度方向的信息跟平面信息结合,提供样品的3D化学影像。
液晶面板结构影像(左),作成显示各层特征谱带4D成像
全焦点画像
▼自动聚焦和多焦点
成像系统附带自动聚焦和多焦点功能。Z自动台读取并处理显微镜焦点位置变化的各个画像,可以获得在所有面焦点位置的全焦点画像。另外,可以构筑3次元形状观察图像。
◆光谱管理器实现拉曼分析真正的标准
NRS-5000/7000系列软件的开发和红外显微镜IRT-5000/7000采用共通的理念,搭载意用的高度的解析功能。
▼测定程序
测量程序由根据功能不同分成不同的窗口来完成。对于测量数据可以即时进行波数补正,感度补正、荧光补正、宇宙线除去。可以多点测量,线测量、3D测量,根据多重画像合成大范围的显微画像,设定测定点和测定区域。
测量光栅(左)和荧光补正前(右上)荧光补正后(右下)
、
解析程序(成像系统)
▼解析程序
标准的分析程序包括:示差光谱,峰值检测,曲线拟合以及荧光自动补正等功能。当配备成像系统时,从光谱图可以计算峰高/峰高比,面积/面积比、峰值漂移量,频谱带宽的半值,附带构建化学图像软件。
▼规格
▼NRS-5000/7000
型号 | NRS-5100 | NRS-5200 | NRS-7100 | NRS-7200 |
分光器 焦点距离 | 像差补正Czerny-Turner型分光器 f=300mm | 像差补正Czerny-Turner型分光器 f=500mm |
波数驱动 | 高精度直接驱动旋转编码器方式 |
测量低波数组件 | - | 标配 | - | 标配 |
測定波数范围 (拉曼波峰漂移值) | 50~8000cm−1 (532nm激发、标准阻波滤光片) | 10~8000cm−1 (532nm激发、测量低波数组件) | 50~8000cm−1 (532nm激发、标准阻波滤光片) | 5~8000cm−1 (532nm激发、标准阻波滤光片) |
分解 | 1cm−1/pixel(532nm激发) 选项:0.4cm−1/pixel(532nm激发) | 0.7cm−1/pixel(532nm激发) 选项:0.3cm−1/pixel(532nm激发) |
可同時搭载光栅数量 | 3枚 | 4枚 |
标准检测器 | 電子冷却CCD检测器 |
检测器切换 | 选项 |
显微观察 | 高解像度内置CMOS相机 |
共焦点光学系 | 标准 |
DSF | 标准 |
SRI (空间分辨率成像) | 标准 |
标准台 | 手动XYZ台 |
选项 样品台 | XY自动台?Z自动台 |
SPRIntS 成像 | 选项: VertiScan、高速数据读取、3D成像、 Z自动台、自动聚焦 |
自动台 成像 | 选项:成像测定、3D成像、XYZ自动台、 自动聚焦功能 |
自动调整机构 | 激光自动校准、拉曼光自动调整 |
霓虹灯 | 标准(波数补正用) |
安全机构 | 联锁机构设计内置电动样品室门,激光光路保护机箱(1级标准) |
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