当前产品板厚测量系统 测厚仪

板厚测量系统 测厚仪

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  • 公司名称秋山科技(东莞)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地东莞市
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间2024/3/20 10:36:05
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产品详情

日本filmetrics板厚测量系统F3-sX


可以高精度测量硅基板和玻璃基板的厚度。
通过安装初开发的具有高波长分辨率的光谱仪,可以测量高达 3 mm 的厚膜。
凭借 10 μm 的小光斑直径,可以测量粗糙和不均匀的薄膜。
通过添加自动载物台,可以轻松测量面内分布。

主要特点

  • 高精度测量硅基板和玻璃基板的厚度

  • 配备自主研发的高波长分辨率分光镜!可测量高达 3 mm 的厚膜

  • 10 μm 的小光斑直径可以测量粗糙和不均匀的薄膜。

  • 通过添加自动平台轻松测量面内分布

日本filmetrics板厚测量系统F3-sX

主要应用

半导体硅基板、LT基板、Ti基板等的厚度测量
平板显示器测量玻璃基板厚度和气隙

产品阵容

模型F3-s980F3-s1310F3-s1550
测量波长范围960 – 1000nm1280 – 1340nm1520 – 1580nm

膜厚测量范围
(Si 基板)

4 微米 – 350 微米7 微米 – 1 毫米10 微米 – 1.3 毫米
膜厚测量范围
(玻璃基板)
10 微米 – 1 毫米15 微米 – 2 毫米25 微米 – 3 毫米
准确性± 0.4% 薄膜厚度
测量光斑直径10微米

*取决于样品和测量条件



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秋山科技(东莞)有限公司

型:
经销商
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商家概况

主营产品:
农用机械,设备/物性测定仪器/食品分析仪器/光学仪器/人工太阳能灯
公司性质:
经销商

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