Pfeiffer 四级杆质谱分析仪 PrismaPlus-仪器仪表在线

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残余气体分析质谱仪 PrismaPlus--四级杆质谱分析仪
上海伯东代理德国 Pfeiffer 残余气体质谱 QMG系列，模块化设计，质量数范围 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。内置四极分析仪、四极电子装置、电源件和Quadera 软件。残余气体质谱 QMG系列离子源配备两组灯丝，适用于多种测量用途，使用寿命长。
Pfeiffer 四极质谱仪 PrismaPlus 主要优势：
1. 模组化设计提供了产品适应性
2. 结构紧凑，性能出众
3. 多种介面，系统集成简单
4. 可通过乙太网网路化
5. 测试过程快速稳定，解析度高
6. 分析器以及电子的可替换性
7. 双灯丝设计保证的可靠性
8. 的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®软体，操作直观
残余气体分析仪 PrismaPlus 技术参数：

型号	QMG 220 F1	QMG 220 F2	QMG 220 F3		QMG 220 M1			QMG 220 M2		QMG 220 M3
检测器	法拉第 Faraday (F)				电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
质量数 amu	1–100	1–200	1–300		1–100			1–200		1–300
四极杆直径／长度	6/100 mm
最小检测极限 F mbar	1X10^-12	2X10^-12	4X10^-12		5X10^-12			1X10^-11		2X10^-11
最小检测极限 M mbar	-	-	-		1X10^-14			< 2X10^-14		< 4X10^-14
对Ar的灵敏度 F A/mbar	1X10^-3	6X10^-4	3X10^-4		5X10^-4			3X10^-4		1.5X10-4
对Ar的灵敏度 M A/mbar	-	-	-		200			200		100
工作压力 F	1X10-4 mbar
工作压力 M mbar	-	-	-		1X10-5			1X10^-5		1X10^-5
对临近质量数的影响	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm		< 10 ppm			< 20 ppm		< 50 ppm
操作温度 F	150 °C
烘烤温度 F	200 °C / 300 °C
连接法兰	DN 40 CF-F
重量	2.4 kg	2.4 kg		2.4 kg		3.8 kg	3.8 kg		3.8 kg

残余气体分析质谱仪应用：四极质谱仪 QMG非常适合于检漏，残气分析以及综合定量分析
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺

上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例一：分子束外延 MBE 气体分析
Pfeiffer 质谱应用
上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例二：对 XPS 系统的分析室残余气体进行定性和半定量分析
上海伯东德国 Pfeiffer
上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例三：分析真空钎焊过程中产生的气体成分和含量
普发质谱应用
1.设计紧凑
PrismaPlus^TM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四极质谱仪积累了丰富的应用经验，高灵敏度，高稳定性和智慧化操作的结合是 PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固，紧凑的设计和简单的系统集成，并从中受益。
2.应用范围广阔
通过可选择质量数范围，检测器、离子源和介面介面等，该四极质谱仪可以应用于多个领域，例如：工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM 四极质谱仪是从*，残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的方案。
3.检测速度快，灵敏度高
PrismaPlusTM 四极质谱仪可以在三个不同的质量数范围（1-100，1-200，1-300 amu）内，下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中，配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪，即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外，直接增加一个压力量规，PrismaPlusTM 四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用。
4.智慧化的软体
Quadera 软体不仅操作简单，它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的介面介面，例如乙太网，数位式和类比式输入输出，可以方便地集成到各种系统中去。轻点滑鼠就可以启动预设的功能。