日本optiworks 4D技术表面轮廓仪NanoCam Sq 测厚仪

日本optiworks 4D技术表面轮廓仪NanoCam Sq

特征

地表观测系统基于有的超高速干涉仪“动态干涉仪”
4D技术自主研发的“动态干涉仪”，可实现100微秒标准的超高速干涉测量。即使在无法避免振动的地方也可以进行测量。

轻巧紧凑
机身尺寸约为 24 x 24 x 8 厘米，重量约为 4.6 千克。便携性强，可携带在被测物体附近进行接近测量。多种可选

镜头 长工作距离干涉仪用物镜 ×2.5、×5、×10、×20、×50（开发中）

内置LED光源（460nm）

综合分析软件“4Sight™” 

“动态干涉测量法”

传统的移相干涉仪使用压电元件等移动参考平面，获取干涉条纹的图像，并计算相位分布。单次测量至少需要100毫秒，在此期间干涉仪与测量样品之间会发生相对振动和空气波动，导致干涉条纹发生波动，导致测量误差增加。为了防止这种情况，需要光学面板、防振装置、挡风玻璃等。
4D Technology的动态干涉仪是一种划时代的系统，以其“动态干涉测量”解决了此类问题。
在“动态干涉”中，无需机械移动参考平面，一次图像数据采集即可获得四帧相移干涉图。由于对相机的每个像素进行相移，因此可以稳定地收集数据，并且由于一次测量的时间可以缩短到 30 微秒，因此可以在干涉图像因振动等而发生变化之前的瞬间进行测量.完成。
这使得可以在振动不可避免的环境中进行测量，测量远处的样品和移动物体，以及测量在室内进行环境试验的样品。

日本optiworks 4D技术表面轮廓仪NanoCam Sq

“4Sight™”数据分析软件

用于高级干涉仪的高级软件。4D Technology 的 4Sight™ 被认为业界良好的干涉测量软件。

数据采集
・可以在4Sight™测量控制台查看实时图像的同时进行调整
・多种数据采集模式，如单次、平均、连续、差分和突发（电影）

数据分析
・斜率、直方图
・衍射分析（PSF、MTF、自协方差）
・几何光学分析（点扩散强度分布、圆形或方形孔径能量分布）
・泽尼克分析
・各种掩模函数和其他自定义分析函数可以添加。