SJ6000激光干涉仪光学测量仪器具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。它集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗力强、长期稳定性好的激光频率输出。
产品功能
1.
SJ6000激光干涉仪光学测量仪器可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
3.可实现对机床回转轴的测量与校准;
4.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
5.具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
6.支持手动或自动进行环境补偿。
产品参数
产品型号: SJ6800
产品名称: 激光干涉仪
稳频方式: 双频激光双纵模热稳频
稳频精度: 0.04ppm
测量距离:≤(0-80)m(无需远距离线性附件)
测量分辨力:1nm
测量至大速度:4m/s
线性测量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃
角度测量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)
主要特点:测量、恒测力、无阿贝误差
SJ6000激光干涉仪光学测量仪器在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
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