双频激光干涉仪精密测量仪器中图仪器（chotest）SJ6000

SJ6000双频激光干涉仪精密测量仪器使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)，以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级。
 

SJ6000双频激光干涉仪精密测量仪器以光波为载体，集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。
 

性能特点

①使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。
②配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度
③分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
 

应用范围

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测；
②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析；
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析。

SJ6000双频激光干涉仪精密测量仪器具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。