中图仪器SJ6000
双频激光干涉仪激光测量仪器具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。而在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
产品功能
1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
3.可实现对机床回转轴的测量与校准;
4.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
5.具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
6.支持手动或自动进行环境补偿。
SJ6000
双频激光干涉仪氦氖激光器持续输出高稳频的激光源,再加上环境补偿器,使线性测量的精度稳定在0.5ppm,动态采集数据频率高达50KHz,测量速度4m/sec,高速测量下的分辨率为1nm。架设灵活,对各种复杂结构的机床、平台和导轨都具有广泛适用性,测量快速简便,减少重复定位测量的时间,同时得到精确直观的检测数据。
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