当前产品泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI

泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI

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  • 公司名称上海百贺仪器科技有限公司
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  • 更新时间2023/5/20 15:00:23
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产品详情

泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI简介
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸,并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件,半导体器件,光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。

泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI技术参数
类型: CCI 干涉(相干相关干涉)
分辨率: 0.1 A
测量点数: 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )

泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI主要特点
  1. 相干相关算法
  2. 0.01nm分辨率
  3. 10-20秒测量时间
  4. RMS重复性:0.03A

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上海百贺仪器科技有限公司

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