泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI简介
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸,并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件,半导体器件,光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI技术参数
类型: CCI 干涉(相干相关干涉)
分辨率: 0.1 A
测量点数: 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI主要特点
- 相干相关算法
- 0.01nm分辨率
- 10-20秒测量时间
- RMS重复性:0.03A