实时监测气态分子污染物AMC

实时监测气态分子污染物AMC

实时监测气态分子污染物AMC

检测需求

洁净室需要控制污染物水平。准确、可靠和低维护成本的洁净室气态分子污染物AMC控制可以显著的提升产能。

可靠的监测

高灵敏度的DKG ONE-CF4可以在生产环境中快速的探测污染物。另外，直接吸收式的检测因其零背景的性质，可保证长期高稳定性。DKG ONE-CF4可与其他检测仪器，如颗粒物监测仪等，整合在一个机柜里。

技术应用

DKG ONE-CF4分析仪是基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术，结合量子级联激光（QCL）光源，工作于CF4的中红外基本光谱吸收峰。这两者的结合提供了足够的灵敏度可以无时延的探测最微小浓度的CF4喷溅或者溢出，同时保证了超高水平的稳定性。重新校准的周期长达几个月甚至几年，大大减低了总体持有成本。

优势

1. 准确、可靠和低维护成本的洁净室污染控制

2. 快速的响应时间，以捕捉浓度突然上升

3. 独立运行系统，内置气体交换泵

4. 无耗材或者化学试剂

5. 短光程，单点校准也可达到业内先的动态量程

6. 直接吸收测量，无漂移

7. 校准间隔长（可达数年）

8.高选择性，不受乙醛和其他VOC的干扰

特点

1. 高选择性的监测痕量水平的CF4

2. 检测下限(LoD)低于0.1 ppb

3. 响应时间可设置，从5秒到3分钟

4. 动态范围宽，运行稳定

5. 无耗材

6. 低样品量（几ml）

7. 内置气体交换系统

8. 重新校准间隔长（几个月）

9. 直观的用户界面

10. 内置显示屏，可数字式或者图线式显示结果

11. 可通过局域网远程操作

技术原理

1. 工作原理：红外光声光谱

2. 超灵敏zhuan利光学麦克风，基于微电机悬臂梁传感器，结合激光干涉仪测量悬臂梁的微观运动

3. 光源：分布式反馈量子级联激光

4. 样品池温度稳定于50℃

环境

1. 运行条件

2. 温度范围：0℃～+49℃

3. 湿度：无凝露

4. 压力：750mbar～1050 mbar

5. 防尘/水等级：IP20(IEC 529)

6. 储存条件

7. 温度范围：-20℃～+60℃

8. 样品气体条件

9. 温度范围：0℃～+49°C

10. 湿度：无凝露，温度达35°C时最大相对湿度80%，温度达49°C时线性下降至35%

11. 压力：750 mbar～1050 mbar

12. 气流：约1L/min

13. 颗粒物<1μm

通用

1. 19”3U外壳，适用于台式或者机架固定安装

2. 尺寸：48.4 cm W x 13.9 cm H x 44 cm D；便携式尺寸：51.85cmx40.5cmx23cm

3. 重量：约13 Kg（便携式约15Kg）

4. 内置计算机，带7”宽屏显示器

5. 数据存储：在最短采样间隔连续监测的情况下，足够存储一年

6. 内部总气路体积：30ml

7. 电源

8. 输入电压：90～264 VAC，47～63 Hz

9. 输入功率：最大75W

10. 接口：以太接口，USB，可选RS485，RS232，电流输出，电压输出，MODBUS和AK协议

11. DKG ONE-CF4可以通过智能手机，平板，电脑或者另一台DKG ONE-CF4（即将推出)远程控制

测量参数

1. 响应时间：取决于用户可定义通道积分时间CIT以及气体冲洗设定。根据平均时间和采样设定从大约10秒到几分钟不等

2. 监测下限：小于0.1ppb

3. 动态量程：大于5个数量级（检测下限的100,000倍)

4. 重复性：运行条件下，校准浓度重复性小于1%

5. 准确度：校准浓度高于5%，受限于校准气体准确度

6. 温度稳定性：在运行温度范围内的环境温度变化不会导致漂移

7. 压力稳定性：压力范围内的样品压力变化不会导致漂移

标准

1. 符合低电压指令2014/35 / EU，EMC指令2004/108 / EC和ROHS 2指令2011/65 / EU

机箱选项

单气体分析

DKG ONE-CF4为用户提供简洁直观的用户界面，包括一块高分辨率的显示屏和一个旋转按钮。

便携操作

可选的便携式外箱适用于可预见泄漏区域的检测。

移动式整合方案

几个DKG ONE-CF4单元可以整合在同一个监测系统，移动式平台可以快速的移动到不同的关键测点。