气体动态稀释仪

一、气体动态稀释仪特点

高精度、高分辨率控制

低功率（功率大小取决于配气路数）

各路 MFC 集成 20 种基础气体种类

各路 MFC 可自定义 10 种混合气体（20 种基础气体种类按比例混合）

数字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

宽流量量程范围

无需预热

无安装方向限制

具有高重复性和高可靠性

采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快

自带温度补偿，补偿范围 0-50℃

内部闭环控制，具有高稳定性

小封装尺寸

二、气体动态稀释仪量程及精度简介

稀释比：最高 1000:1（更高稀释比建议咨询厂家）

各路 MFC 满量程精度：±0.2%

各路 MFC 读取精度：±0.8%

各路 MFC 可重复性：±0.2%FS

各路 MFC 响应时间：＜100ms（调节 PID控制参数可缩短响应时间），数字式设计简介

动态稀释仪内部配置了高精度质 量流量控制器（MFC），各路 MFC 标配高精度传

感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。质量流量控制器采用标准的RS-485 Modbus RTU 通信模式。

三、应用领域

气相和液相色谱仪

半导体工艺

环境监测设备

微反应装置及材料制备实验装置（CVD）

气体发生器

配气混气系

四、功能介绍

流量控制 ---可实现高精度、高重复性、多种气体质量流量控制。

独立使用  ---无需连接任何设备，可通过屏幕完成大部分功能操作。

多种量程选择  ---根据稀释比需求各路 MFC 量程最小量程 10sccm，最大量程 50slpm 可选。

内置 20 种基本气体 ---各路 MFC 内置 20 种基本气体，气体种类可定制。

10 种自定义混合气 ---各路 MFC 可根据使用需求，自定义混合气。

电气接口  ---标准配置 1 个 AC220V 三项插座

控制方式  ---屏幕使用 RS-485 通信与内部 MFC 进行通信。

标准 Modbus-RTU  ---RS-485 通信采用标准 Modbus-RTU 通信协议。

五、技术参数

1.运行参数

各路 MFC 读数精度  ±0.8% Rdg

各路 MFC 满量程精度 ±0.2% FS

各路 MFC 重复性 ＜±0.2% FS

各路 MFC 零点漂移和满量程漂移 ＜±0.02% FS/℃/Atm

稀释比 1000:1

各路 MFC 典型响应时间 ＜100 毫秒（可调节 PID 参数达到更短时间）

各路 MFC 启动预热时间 ＜1 秒

各路 MFC 标准工况 20℃&101.325kPa（标准工况温度可通过 RS485 调整）

各路耐压 1 MPa

安装方向要求 无

电气参数 工作电压 AC 220V±15%

功率 取决于配气仪路数

数字控制信号 RS-485 Modbus-RTU

电信号接口 AC220V 三项插座

2.物理参数

各路 MFC 阀门  比例阀（常闭）

各路 MFC 通过介质 干燥气体

各路 MFC 工作温度 0-50℃

各路 MFC 传感器温度补偿范围 0-50℃

各路 MFC 工作湿度 0-100%（非冷凝）

存储温度 -40~85℃

各路 MFC 泄漏率 ＜0.020sccm He (压差 150psi)