特点
高精度CNC表面粗糙度/形状测量仪,一机二用:可进行表面粗糙度和形状/轮廓测量。
每轴驱动速度zui高可达200mm/秒,实现高速定位,满足多轮廓/多工件的测量任务。
带á轴的机型可通过电动倾斜检测器,对水平和倾斜表面进行连续测量。
带Y轴工作台的机型可通过Y轴轴向定位,扩大测量任务的范围,如多工件任务等。
SV-C4000CNC系列的轮廓驱动器配备激光全息光栅尺,可提高宽/窄范围测量精度和Z1轴分辨率。
通过同时控制X轴和Y轴的方向,可实现倾斜平面的测量。
通过简单的一次性操作,可更换形状/轮廓测量装置与表面粗糙度测量装置,并且,不必对连接电缆重新布线。
由于Z1轴检测器内置了防撞器,当检测器主体即将碰撞工件或夹具时,检测器将自动停机。
配有易于操作的遥控箱:通过两个操纵杆,选定需要操作的轴,即可实现任何移动。键上端的轴向图标易于辨认,轻松操作。
通过USB与数据处理/分析器通信。
基本技术参数:
基座尺寸(H):750x600mm
基座材料:花岗岩
重量:240kg,250kg(高立柱型)
电源:100–240VAC±10%,50/60Hz
能耗:500W(主机)
轮廓测量技术参数:
X1轴
测量范围:200mm
分辨率:0.05μm
检测方法:反射型线性编码器
驱动速度:200mm/s(zui大CNC)
0-60mm/s(操纵杆)
测量速度:0.02-2mm/s
移动方向:向前/向后
直线度:2μm/200mm
*以X轴为水平方向上
指示精度:±(1+0.02L)μm, (20°C时)*L为驱动长度(mm)
a轴
倾角:-45°至+10°
分辨率:0.000225°
旋转速度:1rpm
Z2轴(立柱)
垂直移动:300mm或500mm
分辨率:0.05μm
检测方法:反射型线性编码器
驱动速度:200mm/s(zui大CNC)
0-60mm/s(操纵杆)
Z1轴(检测器)
测量范围:±25mm
分辨率:0.2μm(SV-C3100CNC),0.05μm(SV-C4100CNC)
检测方法:线性编码器(SV-C3100CNC),
激光全息测微计(SV-C4100CNC)
直线位移:±(3+I2HI/25)μm(SV-C3100CNC)
精度:(20°C时)±(0.8+I0.5HI/25)μm(SV-C4100CNC)
*H为基于水平位置的测量高度(mm)
测针上/下运作:弧形移动
测针方向:向下
测力:30mN
跟踪角度:向上:70°,向下:70°(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针)
测针针尖*半径:25μm、硬质合金*
表面粗糙度测量的技术参数:
X1轴
测量范围:200mm
分辨率:0.05μm
检测方法:反射型线性编码器
驱动速度:200mm/s(zui大CNC)
0-60mm/s(操纵杆)
测量速度:0.02-2mm/s
移动方向:向后
直线度:0.5μm/200mm
a轴
倾角:-45°至+10°
分辨率:0.000225°
旋转速度:1rpm
Z2轴(立柱)
垂直移动:300mm或500mm
分辨率:0.05μm
检测方法:反射型线性编码器
驱动速度:200mm/s(zui大CNC)
0-60mm/s(操纵杆)
检测器(选件)
范围/分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(使用测头选件时,zui大可达2400μm)
检测方法:无轨/有轨测量
测力:4mN或0.75mN(低测力型)
测针针尖:金刚石、90o/5μmR
(60o/2μmR:低测力型)
导头曲率半径:40mm
检测方法:差动电感式
选件
防震台架
防震台装置:膜片空气弹簧
自然频率:2.5-3.5Hz
减震机构:阻尼孔
调水平装置:带机械阀的自动控制装置
气源气压:0.4Mpa
承载:350kg
尺寸(DxH):1000x895x715mm
重量:280kg
Y轴工作台装置
测量范围:200mm
zui小读数:0.05μm
标尺装置:反射型线性编码器
驱动速度:200mm/s(zui大CNC)
0-60mm/s(操纵杆)
zui大承载能力:20kg
直线度:0.5μm/200mm
指示精度(20°C时):
±(2+2L/100)μm,轮廓模式
L为两个测量点之间的距离(mm)
工作台尺寸:200x200mm
尺寸(DxH):320x646x105mm
重量:35kg