美国Met One标准粒子发生装置 255

Met One 228/229
GT321/521//531/526
Met One 227A/227B
Met One HHPC-2
Met One HHPC-6

日本KANOMAX粒子计数器
KANOMAX 3887
 

气体尘埃粒子计数器的校正程序

•  校正所需设备

•  100 级洁净房或洁净台

•  一台用于作对比，尚在校正期内的尘埃粒子计数器，如 Metone3400

•  各粒径的标准粒子，如 0.3um ; 0.5um ; 1um 等等

•  标准粒子气体产生器，如 Model 255

•  可产生脱离水（ DI 水）的纯水系统或类似装置

•  其它普通电器，如 220V 电源插座，万用表等等

•  校正的基本原理

标准粒子（如 0.301um ）通过 255 粒子产生器由液状雾化成气体，并由其内置泵通过 0.2um 的过滤器后的干燥气体进入取样管路，这时，将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试，并比校 0.3um 粒径的测试值。如果其平均值在 20% 以内，认为合格。如果不同型号的粒子计数器，一定要弄清楚其流速，取样时间，取样次数等参数，并且，还要明白怎样理解其测试结果。

三 . 校正的基本步骤：

现假设对一台常见的 Metone227B 作校正

•  首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差别，其测试原理一样，但 Metone3413 流速为 1CFM （立方英尺 / 分钟），而 Metone227B 则为 0.1CFM 。

•  首先，请将洁净台开机，工作半小时，其间内也打开 Metone227B 和 Metone3413 ，让其预热半小时。

•  准备好 255 的取样器管，并搭接好其所有气体管路。

•  将配好的标准液（如 0.301um ）放入脱原子瓶中，注意勿让液体超过喷嘴。

•  设置 Metone3413 和 Metone227B 的基本参数

•  取样时间都设置为 00 ： 01 ： 00

•  取样次数都设置 03

•  取样模式都设置为 Auto

•  间隔时间都设置为 00 ： 00 ： 05

•  读数模式都设置为 Cumulative

注：以上设置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 测试结果会是 Metone227B 的 10 倍。

•  此时，打开 255 电源，调节脱原子气体阀和干燥气体阀，在调至喷嘴阀处呈气雾出现，干燥气体流速计约 60SCFH 时后，保持其工作状态。

•  此时，让 Metone227B 和 Metone3413 同时工作，看其三次的平均结果，若在 20% 以内，视为合格。

•  拆下脱原子瓶，重新滴入其它标准粒子，重复该测试。

•  以上校正只是对比校正，尚可用万用表对其基本参数测量，用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。