准分子光处理温度技术

用于紫外线清洁和重整光处理的紫外线灯在打开时温度升高。 顾名思义，产生波长为185，254nm的臭氧的“低压汞灯”，通常用于紫外线清洁和重整，是一种通过用热量蒸封闭在灯管中的少量汞来电弧电极发射紫外线的灯。 因此，灯的温度必须高。 另一方面，“准分子紫外灯”灯管中只有惰性气体，没有电极或汞。 由于惰性气体的特性，可以瞬间产生最大的照度。 由于没有汞，因此无需加热灯即可发出紫外线。 当紫外线灯处于低温时，被照射物体的温度不会升高，因此不会损坏薄膜等易受热影响的产品，并且由于被照射物体不需要冷却时间，因此可以在紫外线处理后立即取出并在短时间内进行处理。 由于Exima株式会社的灯具不需要冷却结构，因此设备成本低，结构紧凑。 有很多优点，例如。

我们从Exima株式会社的内部数据中介绍各种紫外线清洗和改造紫外线灯的温度数据。 本数据中使用的准分子灯是初始照度为 20mW/cm2 或更高的标准灯。 其他公司生产的高照度准分子灯需要冷却，因为它们的温度很高，这不适用于此数据。

准分子紫外光处理原理

紫外线的波长越短，光能（光子）越强。 另一方面，当构成物质的分子被赋予强大的能量时，分子的键就会断裂。 换句话说，如果紫外线的光能强于分子的结合能，分子键就会断裂。
切割的分子处于不稳定状态，因此它试图连接到某物。 这是具有良好反应性的“润湿性”状态。 当与碳的有机化合物如油暴露在强光能的紫外线下时，碳键断裂，如果工艺环境的大气中有臭氧或活性氧，C和O结合并气化为CO2，有机物分解。 这就是UVO3光清洗和改性的原理。 它的特点是仅使用光进行干处理，不使用水或化学品，并且温度不会升高。