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agilent 主动式真空计 CDG-500电容薄膜真空计
主动式真空计
CDG-500 电容薄膜真空计
Agilent CDG-500 系列温度补偿电容薄膜真空计可在高压区域内提供高水平的准确度。可提供从 1000 Torr 至 1 Torr (1.3–1333 mbar) 的全量程测量。
CDG-500 系列采用耐腐蚀的超纯氧化铝陶瓷隔膜，可提供超常的信号稳定性，并具有从大气环境中快速恢复、预热时间短和坚固性没有可以相比的特点。
广泛应用于薄膜和真空工艺、工业真空、数据存储和半导体制造等应用。
特性
全量程为 1–1000 Torr (1.3–1333 mbar)，按钮调零，可选设定点控制易于集成
优异的长期信号稳定性和重现性
从大气压下恢复迅速，启动后迅速达到稳定状态，缩短了过程循环时间
采用耐腐蚀陶瓷传感器和屏蔽保护，确保了坚固耐用
高水平的准确度(读数的 0.2%)
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