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圆晶表面清洁度检测的重要性
圆晶表面清洁度检测的重要性
晶圆表面的洁净度会影响后续半导体工艺及产品的合格率，早期曾有文献指出，在制造过程中，因未能有效去除晶圆表面的污染而产生的耗损，在所有产额损失中，可能占达 50% 以上的比例。故上海路阳仪器有限公司根据半导体行业客户需求，研发出一款FY-18系列台式表面检查灯，三种光源可供选择，适用于产品表面划痕、污垢、异物的目视检查。FY-18系列装有匀光板，不刺眼，无级调光设计，客户可以调整到自己理想的光照度。采用无风扇设计，可在洁净室中使用，50cm灵活的柔性臂，可任意角度照射。
FY-18系列（FY-100R的后继型号）
采用LED光源，非常适合目视检查产品表面的划痕、污垢、异物等。
更轻松地对半导体零件、显示器、树脂产品和精密零件进行目视检查。
通过与二向色滤光片相结合，变得更容易观察，并且对眼睛温和，减轻了工人的压力。
特征
配备18W大功率LED
瞬间点亮，无需预热
具有调光功能
对被照射物体无热影响
由于无风扇，因此即使在洁净室中也可以使用。
可通过柔性臂进行微调
光谱分布图
FY-18N（白色）透明滤光片
安装绿色滤光片
筛选
标准设备
清除
扩散
可选（单独出售）
可在 500 至 600 nm 波长下进行检测。
绿色的
黄色的
产品规格
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