pulstec 的LUCAS　Nano 波纹度测量 装置/透镜装置波前测量系统

pulstec 的LUCAS　Nano 波纹度测量

装置/透镜装置波前的测量系统

• 它具有较宽的高度测量范围，可以测量白色干涉仪难以一

• 次测量的起伏。

• 它体积小、重量轻，可以集成到各种设备中。

• 可进行实时 [0.1 秒（最大）] 波纹度测量。

• 它具有较宽的动态范围，可以测量干涉仪难以测量的大像差。

• 除了波前的传感器之外，底座单元还内置有自准直仪、可用作测

• 量光的激光光源以及便于调节的对准相机。

• 可根据需要选配各种附件（扩束镜、聚光镜、参考球等）。

• 半导体晶圆波纹度测量

• 平面基底上金属薄膜波纹度的测量

• 金属和玻璃表面波纹度的测量

• 硬盘表面波纹度的测量

• 非球面透镜和凹/凸透镜的检查

• 镜头单元和光学装置的调整

• 检查平面物体的反射和透射波前的