OAI美国 Model 32 UV LED Light Source 32型紫外LED光源

这种新型紫外LED光源由OAI久经考验的光刻专家设计和制造。该光源提供了许多独的特的好处，

其中最重要的是在异常长的寿命内保持一致的强度。该光源非常节能，无需维护或更换光源，

并且不含汞。

OAI紫外LED光源提供的光束大小在4”和12”之间，光束均匀性优于+/- 4%。它具有一个棱

镜阵列和光导管，以实现卓的越的均匀性。准直角度小于2度。这种光源具有可变的强度，波长

为365纳米、405纳米或两者的组合。功能包括剂量控制和定时曝光。易于使用，OAI光源使

用触摸屏界面，并有一个USB远程接口。

UV光源提供多种选择，包括重型支架、用于光刻印刷的工具模块以及单波长或多波长版本。

该系统可以集成到任何OAI光刻系统中。