适合曝光装置的温度管理 Apiste精密空调机PAU系列

【最的适的合曝光装置的温度管理】Apiste精密空调机PAU系列

【最的适的合曝光装置的温度管理】Apiste精密空调机PAU系列

只需连接就能简单地实现精密空调。自由调温包围的空间的Apiste的精密空调机PAU系列

[最的适的合曝光装置的温度管理]精密空调机PAU系列

在曝光装置中，为了抑制光掩模的膨胀和收缩，

你需要供应冷风，以稳定温度。

PAU机组可实现要求温度、湿度、清洁度的空气。

进行局部空间的空调的“PAU系列”包括：

与整体空调相比，可以抑制能量消耗，更不用说高精度的温度管理，

即使对于困难的湿度，也可以根据需要进行从低湿环境到潮湿环境的精密控制。

此外，通过与风扇过滤器单元的组合，可以轻松实现广泛的清洁度管理。