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Signatone四点探针与电阻率测试设备的介绍
Signatone四点探针与电阻率测试设备的介绍
五十多年来，Signatone为晶圆探测提供了一系列卓的越的分析探针台，在降低成本的同时提高了工艺性能。配件包括显微镜、热控制系统、软件和各种探针。
毫米波晶片上射频探测
支持高达1.1 THz的频率兼容是德科技-安捷伦、安立讯、罗德与施瓦茨VNA公司、是德科技、安立讯、OMLabs、VDI、铜山和罗德与施瓦茨的频率扩展器。
电缆和波导接口，支持真正的3轴大面积定位
多测量-一个探针站
电流-电压
电容电压
温度下的脉冲IV
完整的电阻率测量系统
报告标准电阻率、电阻率标准偏差、平均薄层电阻和薄层电阻标准偏差。
TCR测量和双重配置测试
自动2D和三维轮廓测绘
在晶圆级表征大功率器件
“PowerPro”功率器件表征系统可对高达3 kV(三同轴)/ 10 kV(同轴)的功率半导体进行安全、准确的
过温、低接触电阻测量
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