半导体生产过程中露点仪选择-在线露点计TK-100
半导体芯片对现代社会的重要性不言而喻,是支持5G,物联网,AI,自动驾驶汽车,智能穿戴等市场发展的关键因素。随着芯片尺寸的减小和更加精密,制造工艺要求也越来越精细,更严格的规范和生产误差。反过来,这将更加依赖于监测和控制工艺条件的传感器和仪器性能,尽可能降低减产或整批晶圆报废的风险。
被称为半导体“血液”的电子气体是芯片制造业不可缺,它参与蚀刻、清洗、外延生长、离子注入等各个环节。它的纯度影响集成电路的性能、集成度、成品率等,随着芯片制造工艺的小型化,半导体生产对电子气体的纯度提出了更高的要求。
气体中的露点测量是一个挑战,以99.9999%的高纯氮气为例,其水分含量低于1ppm,也就是100万个气体分子中, 不到1个水分子。如此微量的水分子含量, 对湿度传感器的灵敏度和准确性都是一个真正的考验。在过往,高精度的水分仪往往伴随着高成本,而随着金属氧化物陶瓷湿度传感器的开发,在精度和成本上的选择不再是鱼和熊掌不能兼得的困境。
TK-100在线露点仪
特征
国内开发、国内制造、国内校准
露点测量范围-100至+20℃dp
精度±2℃dp
高响应速度
有竞争力的定价体系
交货快捷
完善的支持体系
可追溯至国家标准
主要用途
手套箱内的露点控制
干燥机露点检查
热处理炉内气氛控制
洁净室和干燥室的露点管理
气体纯度控制
天然气水分管理
半导体制造设备
有机EL制造
观点
高品质国产露点仪
过去 40 年来,Techne Keisaku Co., Ltd. 一直致力于湿度管理和测量设备(主要是露点计)。电容式(阻抗式)露点仪TK-100系列是Techne测量有限公司的主打产品,用于测量露点或水分含量。
TK-100在线露点仪是TK-100变送器、监视器和传感器电缆的集合,因此您可以轻松开始测量露点。
实现易于安装的价格范围
通过在日本进行制造、生产线和校准等所有工序,我们极其重视质量,并追求以易于在各种客户现场情况下实施的价格范围提供产品。
同时,我们建立了交货时间短的运输系统。
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