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krosaki半导体制造设备用光学镜NEXCERA®
krosaki半导体制造设备用光学镜NEXCERA®
NEXCERA ®是一种热膨胀系数与低热膨胀玻璃相当且刚性高的材料。
主要用作半导体制造设备、坐标测量机、望远镜等的反射镜。
特征
●热膨胀系数与低膨胀玻璃相当
●可实现精密镜面加工
●高的稳定性（热/时间）
●重量轻、刚性高
●自扩散接合无需接合剂即可接合
薄筋结构
（筋厚度：3mm）盖板粘合（自扩散粘合）+精密镜面加工
箱体结构（镜面）
Φ340×70mm
平坦度 36nm < λ/10
表面粗糙度：Ra 0.36nm，PV 32nm
键合技术 自扩散键合
・陶瓷直接接触并加压加热，使构成元素扩散而接合的方法。
・无需使用粘接剂即可接合。
薄筋结构
（筋厚度：3mm）盖子接头
箱体结构（镜面）
Φ340×70mm
联合剖面照片
NEXCERA®热稳定性
●热循环
(RT⇒-20℃(11h)⇒+60℃(11h)⇒RT)×4次●
NEXCERA® （ N117B）镜面/薄肋接合结构 示例
样品尺寸： φ340mm
<热循环前> 平面度：0.058μm
<热循环后>平面度：0.060μm
温度循环前后的平整度变化在设备误差范围内
， 形状轮廓几乎保持不变。
热循环引起的滞后非常小。
NEXCERA ®超低热膨胀陶瓷
NEXCERA ®是一种基于堇青石（2MgO-2Al 2 O 3 -5SiO 2 ）陶瓷的超低热膨胀陶瓷。它在室温附近表现出零膨胀，是一种比低热膨胀玻璃具有更高强度和刚性的材料。可以创建以前不可能的复杂形状。
特征
零热膨胀
它在室温附近几乎为零膨胀。
高老化稳定性和热稳定性
随着时间的推移，尺寸变化极小，并且热膨胀系数和尺寸相对于温度变化的再现性非常好。
重量轻、刚性高
与一般低热膨胀玻璃相比，其刚性约为1.5倍。
可实现精密镜面加工
由于它是无孔材料，因此可以通过研磨或抛光将其加工成镜面。
近终形烧成技术
通过预烧制处理可以实现近净烧制，从而可以以低成本制造复杂的结构。
热膨胀行为
单击此处查看 NEXCERA ®应用产品页面
测量仪器参考装置概述
光学镜概述
各材料物性表
| 产品编号 | N113B | N117B | N118C | N119C | CD107 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 颜色 | 黑色的 | 黑色的 | 蓝灰色 | 浅蓝 灰色 | 蓝灰色 | |
| 堆积密度 | 克/立方厘米 | 2.5 | 2.55 | 2.58 | 2.5 | 2.57 |
| 弯曲强度 | 兆帕 | 210 | 230 | 220 | 166 | 230 |
| 杨氏模量 | GPa | 130 | 140 | 140 | 130 | 143 |
| 比刚度 | GPa/(克/立方厘米) | 52 | 55 | 54 | 52 | 55 |
| 断裂韧性值 | 兆帕·米1/2 | 1.2 | 1.2 | 1.4 | 1.3 | 1.4 |
| 硬度 | GPa | 8.0 | 8.1 | 8.1 | 8.0 | - |
| 热膨胀系数 | X10 -6 /℃ 23℃ | < 0.03 | < 0.03 | < 0.05 | < 0.05 | < 0.03 （22℃时测定） |
| 导热系数 | 瓦/米克 | 3.7 | 4.2 | 4.5 | 4.3 | 4.7 |
| 相对介电常数 | (1兆赫) | 4.7 | 6.0 | 4.7 | 4.4 | 4.6 |
*所列数据为典型值，并非保证值。
关键词：
光学镜,超低热膨胀陶瓷
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