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MaxMile LED 外延片 EL/PL 联合测试系统介绍
MaxMile LED 外延片 EL/PL 联合测试系统
4-inch Desktop 8-inch Desktop Robot I System Robot II System
1、外延尺寸(最大12” ): 2"-4" 2"-8" 2"-8" 2"-8"
2、工作台尺寸(W×D×H):18"×18"×14" 18"×18"×14" 32"×32"×68" 57"×32"×68"
3、外延装载功能： manual manual manual/robot robot
4、装载盒数量： n/a n/a 1 up to 3
5、装载盒检测： n/a n/a yes yes
6、外延尺寸检测： n/a n/a yes yes
7、装载盒外延映射： n/a n/a yes yes
8、预对准： n/a n/a yes yes
9、外延片快速映射功能测试：
标准：EL(电致发光),PL(光致发光),EL / PL相结合,IV,反向特性,翘曲。
可选：膜厚测试 ，GaN on Si特征，测试温度控制。*
10、光谱检测范围：从紫外到近红外(默认为200nm—800nm)
11、光谱分辨率：0.5-2 nm，取决于光谱范围选择和系统配置
12、测试项目：
1、电致发光Mapping：
波长--WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波长，半高宽度。
强度—辐射/发光功率，转换效率。
电流—正向电流/电压，导通电压，反向漏电流/电压，阈值电压，导通电阻，顶部电阻
正向漏电流，串接电阻，理想因子，等。
2、光致发光：
波长—WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波长，半高宽度。
强度—辐射/发光功率，转换效率。
3、IV特性Mapping：
正向电流/电压，反向漏电流/电压，阈值电压，导通电阻，等。
4、其他特性Mapping：
翘曲度
薄膜厚度*
5、测试曲线类型：
特定驱动电流/电压的电致发光光谱
光致发光谱
LIV—电流/发光强度— 电压
输出强度— 驱动电流
波长&半高宽— 驱动电流
反向IV
6、CVD外延布局Mapping:
对于上述所有测试项目，无论mapping还是快速测试均可做布局图
注意：软件可以客制化，可为客户特的殊的器件参数做mapping图
13、激发源：EL: Keithley 数字电源;PL:405nm标配，请联系MaxMile配置其他激发源。
14、EpiEL探针类型：Type I, Type IA, Type II, Type IIA, Type IIB, Type IIC, and GaN-on-Si
15、电流测试：>10 -12A
16、控制单元与操作系统:EpiEL内部电脑使用64位微软Windows7/8操作系统
17、采样点/采样步骤：
1、电致发光采样点和每个点的光/电测量步骤都可由最终用户设置。
2、光致发光采样点可以由最终用户(高分辨率应用于高要求的应用，快速扫描可用于批量生产的质量控制。
3、用户可自定测试点的布局。
18、测试时间：每片外延片测试约0.5-12分钟，这取决于测试类型、采样点、检测协议和测量步距设置的不同之处; 光致发光选项扫描速度是每秒最多达50点。
19、报告生成与数据展示：HTML (Brief/Abbreviated/Full) /XML/CSV/TXT
20、Mapping颜色编码:彩虹色，渐变色，二元色，温度，灰色，或任何由最终用户指的定的颜色类型。
21、电源：15A/110VAC 或是10A/220VAC(最大电压);机器人系统需要真空。
22、环境条件:温度： 15℃ - 30℃ ，相对湿度：30% -70%无凝结。
Epi-EL/PL联合测试系统
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