水平仪对半导体设备制造上使用的作用

在半导体制造过程中，水平仪是一种重要的测量工具，用于确保设备的水平度和精度。半导体设备对水平度的要求高，因为微小的倾斜或不平整都可能影响晶圆加工的质量，导致产品缺陷。以下是关于半导体设备用水平仪的相关信息：

1. 水平仪的作用

• 确保设备水平：半导体制造设备（如光刻机、刻蚀机、CVD设备等）需要在绝对水平的状态下运行，以保证工艺精度。

• 提高产品质量：水平度不足可能导致晶圆表面不均匀，影响薄膜沉积、光刻对准等关键工艺。

• 减少设备磨损：设备在不水平的状态下运行会增加机械部件的磨损，缩短设备寿命。

2. 半导体设备对水平仪的要求

• 高精度：半导体制造对水平度的要求通常在 0.01mm/m 甚至更高。

• 稳定性：水平仪需要长期保持稳定，避免因温度变化或振动导致测量误差。

• 抗干扰性：半导体工厂环境中可能存在振动、电磁干扰等，水平仪需要具备抗干扰能力。

• 易于校准：水平仪需要能够快速、准确地校准，以确保测量结果的可靠性。

3. 常用水平仪类型

在半导体设备中，常用的水平仪

电子水平仪

• 原理：通过电子传感器（如加速度计）测量水平度，并将结果显示在数字屏幕上。

• 优点：精度高、读数直观、可存储数据。

• 应用：用于高精度设备的安装和校准。

有线2轴精确数字水平SELN-001B

这个两轴数字水平（有线）是高精度和轻量级水平。与常规级别相比，它可以以数字方式显示，从而使现场调整非常容易。另外，显示和级别通过有线连接连接，因此可以从距离进行测量。因为它是轻巧的，所以它也可以在精致的区域（例如处理晶圆的区域）进行测量。气泡出现在监视器屏幕上，您可以通过查看气泡型水平来调整它们。由于以数字方式显示它，因此操作员没有读取变化。

水平仪的使用步骤

1. 准备工作：清洁设备底座和水平仪，确保测量面平整。

2. 初步调平：使用气泡水平仪进行初步调平。

3. 精确测量：使用电子水平仪或激光水平仪进行高精度测量。

4. 调整设备：根据水平仪的读数调整设备底座的调平螺丝。

5. 验证校准：重复测量，确保水平度达到要求。

6. 记录数据：保存测量结果，便于后续维护和检查。

水平仪的校准与维护

• 定期校准：水平仪需要定期校准，以确保测量精度。

• 避免振动：在使用和存放过程中，避免水平仪受到剧烈振动。

• 温度控制：水平仪对温度敏感，应在恒温环境下使用。

• 清洁保养：保持水平仪的清洁，避免灰尘或油污影响测量结果。