thinksrs残余气体分析仪 RGA系列— 100、200和300 amu分析仪

thinksrs残余气体分析仪
RGA系列— 100、200和300 amu分析仪

• 100、200和300 amu系统
• 分辨率优于1 amu
• 6个数量级的动态

  
  

  单次扫描的范围
• 5 x 10

  -14

  托检测极限
• RGA视窗软件
• RS-232和以太网接口

坚固的探头设计

探针由离子发生器、四极滤质器和检测器组成。简单的设计有少量的零件，最大限度地减少排气，

并减少将杂质引入真空系统的机会。探头组件坚固耐用，安装在标准2英寸CF法兰。除了离子发生

器之外，它被不锈钢管覆盖，离子发生器在真空系统中只需要2英寸的间隙——大约是标准离子规

的间隙。探头采用自动校准部件设计，因此在清洁后可以很容易地重新组装。