thinksrs通用气体分析仪 UGA系列—多达300台amu气体分析仪

thinksrs通用气体分析仪
UGA系列—多达300台amu气体分析仪

• UHV的大气压力
• 100、200和300 amu系统
• 快速响应时间
• Windows软件
• 独立泄漏检测
• 电子倍增管
• 测量高达100% H

  2

  随着

  
  

  UGA-氢(UGA w/opt。3)
• 低成本解决方案(ULT)

操作原理

UGA系统使用两级减压入口在大气压下对气体进行取样。在压力降低到大约10-6托气流被送至质谱仪(残余气体

分析仪RGA ),该质谱仪测量每种目标质量的浓度。

UGA视窗软件提供了一个复杂的图形和数据分析的图形用户界面。该软件还允许远程控制系统的阀门、加热器

和泵。

对于以下范围内的气体取样10-1到10-4托使用真空入口组件。只需将一个2 " CF to "管适配器连接到一个CF端口，

并根据入口压力调整管的长度。

UHV应用程序可以直接访问RGA(<10-4托)。真空入口组件的任何2 " CF端口都可以用来连接到您的真空室。