thinksrs斯坦福UGAPM100100 amu过程监视器

thinksrs程序控制
UGAPM系列—多达300台amu气体分析仪

• 工作压力为1毫托至20托
• 100、200和300 amu系统

• <1.5 second response time

• 多点分析
• 多范围应用
• 几乎为零死体积
• 系统烘烤
• 样品管线加热

UGAPM系列过程监控系统是为分析过程气体而设计的现代质谱仪。它们的工作压力从20托到1毫托。

入口以低流速(大约5x10-5毫巴升/秒)使该仪器非常适合在线分析.

UGAPM的应用包括CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空镀膜/等离子蚀刻、蒸发、溅射沉积、

真空热处理、目标老化、泄漏检测/虚拟泄漏/解吸、污染研究、小体积分析(0.1 mL范围)等。

这些分析仪也易于操作和维护。所有组件都可以通过前面板或远程计算机进行控制。在UGAPM系统

中，外径为1/16”或1/8”的不锈钢毛细管用于容纳半真空取样。利用这种配置，在处理室和分析器之间

几乎没有死体积。

操作原理

UGAPM系统使用单级毛细管减压入口从1毫托到20托对气体进行采样。在压力降低到大约10-6托气流

被送至质谱仪(残余气体分析仪RGA ),该质谱仪测量每种目标质量的浓度。

UGAPM Windows软件为复杂的绘图和数据分析提供了一个图形用户界面。该软件还允许远程控制系

统的阀门、加热器和泵。

多毛细管入口

可选的多入口阀有两种可能的配置。一种是多通道配置，它可以在不同的地方应用于特定的样品压力。

另一种是多量程配置，可适用于各种不同的样品压力范围。