SHASHINA KAGAKU日本写真化学 光纤式膜厚监测仪

紧凑型膜厚监控仪是一种反射分光光度计，使用小型反射探头，适用于从实验室

水平到生产过程中在线100%检测的所有情况。它具有出色的可维护性，可用于过

程设备和生产线管理。
最多可同时测量9种类型的透明薄膜。
它可用作各种多层薄膜工艺的在线或终点监控器。
紧凑型探针可以安装在加工工具内部的小空间中。还可以通过使用EMA理论来判

断混合层的混合比或多晶硅的结晶度。

1小型光纤探头[*1] 2 膜厚测定再现性0.1nm以下（3σ）[*2]

6 无线对应（选配件）[*6] 7 透射率测量（可选）[*7] 8 

自动映射测量（可选）[*8] 采用 30 mm 的小型探头，可安装在设备内的狭

小空间内。  而且，由于探头到本体只用光纤连接，具有优异的耐环境性。 4 膜质解

析功能 [*4] ·通过有效介质近似（EMA）方法计算混合比 ·结晶性评估，光学常数解

析 5 根据目的选择光源

波长范围 (nm) 430～700 400～900 220～900 对象膜厚范围 (nm) 50 ～ 50,000 50 ～ 

50,000 10 ～ 30,000 平均寿命 (Hour) ＞50,000 10,000 1,000 光源式样 白色 LED 卤钨灯

 氘·卤素 3 多层膜同时测