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主营
SHASHINA KAGAKU日本写真化学 光纤式膜厚监测仪
特征
1
高达300 mm晶片的自动薄膜厚度绘图测量是可能的 2
自动校准功能 3
自动校准功能 4
通过采用具有高平整度的晶片卡盘来提高晶片表面的测量可靠性 5
支持自动化 6
装载口安装
测量数据示例(等高线图) 键合晶片的硅厚度(nm) 
测量数据的示例(3D膜厚度分布) 键合晶片的硅厚度(nm) 
测量数据示例(薄膜厚度直方图) 键合晶片的硅厚度 
测量数据的例子(多个晶片的膜厚度分布的箱线图) 五种晶片的膜厚分布趋势 
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