SHASHINA KAGAKU日本写真化学 红外线透过式薄片厚度监视器

特征

红外板厚度监视器测量半透明板的厚度，如电池隔板、低反射涂层(如黑色保护层)和硅。它

可用于从实验室水平到生产中在线100%检测的所有应用。红外吸收系统由一个带有透射光

学系统的紧凑型镜面探头组成，可在100多个波长下同时测量多种参数，如薄膜厚度、密度

和成分。

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• 测量半透明板、低反射膜、硅等的厚度。这对于光学干涉测量来说是很困难的

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• 紧凑型探针

  通过采用小型30 mm反射式探头，可以安装在设备或生产线中的狭小空间内。此外，由于探头仅通过光纤电缆连接到主体，因此它具有优异的耐环境性。

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• 高速测量
  从950纳米到1650纳米的近红外波长在100个点或更多点的同步采样

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• 厚度测量再现性小于等于0.1%(3σ)

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• 测量算法

  算法	校准样品	参数数量
  兰伯特-啤酒定律	1	厚度
  最小二乘回归方法	2或更多	多参数 (厚度、密度、复合比率等)