SHASHINA KAGAKU日本写真化学 紧凑型膜厚监控仪

紧凑型膜厚监控仪是一种反射分光光度计，使用小型反射探头，适用于从

实验室水平到生产过程中在线100%检测的所有情况。它具有出色的可维

护性，可用于过程设备和生产线管理。
最多可同时测量9种类型的透明薄膜。
它可用作各种多层薄膜工艺的在线或终点监控器。
紧凑型探针可以安装在加工工具内部的小空间中。还可以通过使用EMA理

论来判断混合层的混合比或多晶硅的结晶度。

紧凑型光纤探头

可以安装在加工工具内部的小空间中

膜厚测量0.1nm (3o) 的重复性好

可测量多达9层的多层膜厚度

使用旋涂机检测终点的视频

可选择光源

光源

白光LED

钨合金

Deuterlum卤素

波长范围(nm)

430-700

400-900

220900

无线 (选项)

包含膜厚终点检测软件

靶厚度范围 (nm)典型使用寿命 (小时)

50--50,000

50--50,000

10--30,000

>50.000

10,000

1,000

电影1:终端监视器的演示1

电影2:终端监视器的演示2

材料分析功能

用EMA评价复合材料的混合比

自动映射阶段 (选件)

结晶度与光学常数分析